電気化学(ガルバニ電池)式酸素測定技術
AII社の電気化学式(ガルバニ電池式)酸素センサーは、さまざまなバックグラウンドガス中の酸素の正確で信頼性の高い測定を提供し、一部のモデルでは最大60ヶ月の寿命を提供する通常24ヶ月の耐用年数を提供します。センサー範囲は、微量酸素からppbレベルまでのピコイオンセンサーから、高%O 2測定用の電気化学センサーまで用意しています。
一般的な測定範囲は次のとおりです。
超高純度および高純度ガス用のPico-Ion ppb酸素センサー |
0…100 ppb O2 および 0…1 ppm O2 |
酸素純度用の電気化学センサー |
90…100 %O2 |
PPMレベル用の電気化学式微量酸素センサー |
0…10 ppm O2 および 0…100 ppm O2 |
% レベル O2 測定用の電気化学式微量酸素センサー |
0…1 %O2以上 |
天然ガス向けの電気化学式酸素センサー |
1…2000 ppm H2S |
酸素センサーの認定には、MDD/93/42 EEC(ヨーロッパCE)、ISO13485:2003(カナダ保健省)、およびFDA規制基準が含まれています。爆発性雰囲気で使用できるセンサー、トランスミッター、および測定器は、ATEX指令94/9/EC ATEXに適合しています。
Pico-Ion センサーテクノロジー
AIIの酸素センサー“Pico-Ion酸素センサー”の設計思想は、典型的なガルバニ電池式設計の潜在的な弱点をカバーします。材料、設計および製造方法は、創業以来ずっと改良され続けいています。AII社では 、個々のアプリケーションに応じて性能と寿命のバランスが常に最適な状態を維持できるように、各酸素センサー毎に専用設計をしています。その結果、測定への信頼性が高まり、メンテナンスの手間も省けます。
酸素が存在しない場合、センサーはゼロ出力を生成し100%までリニアです。
メンテナンスフリーな第2世代Pico-Ionセンサー
定期的なメンテナンスや電解液の補充を必要としない、安定した出力を持つ高性能な低ppb酸素センサーです。革新的なガスチャンバーデザインは酸素変化への応答速度が高く、独自のセンサーデザインは単位面積あたりの高い信号出力を持ち、感度と出力を大幅に向上させます。
特長
- 測定下限値が100ppt未満
- 高いSN比
- 優れた安定性
- 応答速度15秒未満
- プロセス異常状態の高酸素レベルからの早期回復
- 長期寿命:連続12ヶ月

センサー構造 イメージ図

典型的なセンサー出力
- Pico-Ion UHP酸素センサー
-
センサー電極の材質とガスチャンバー設計に特長があります。
電極上部での化学反応を最大限にして、電解液に溶解する酸素とセンサー出力の温度影響を最小限にする事で、最良の長期安定性を確保しました。
精度 |
±3 %読値または0.5 ppb(一定条件下) |
感度 |
100 ppt |
低レンジ |
0-50 ppb FS |
復帰時間 |
9 ppm の環境下に 1分 → 10 ppb まで約15分
9 ppm の環境下に 1分 → 1 ppb まで約60分
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寿命 |
一定のアプリケーションで6ヶ月以上 |
- Pico-Ion MS酸素センサー
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5ppbの感度を持った市場になかったレンジをターゲットにしたセンサーです。サブppbレベルの高価な分析計と測定感度のない通常のガルバニ式分析計の中間のレンジの測定を可能にしました。
精度 |
±3 %読値または0.5 ppb(一定条件下) |
感度 |
<2.5 ppb |
低レンジ |
0-0.5 ppm FS |
応答性 |
90 %FSまで15秒以下 |
復帰時間 |
9 ppm の環境下に 1分 → 10 ppb まで約15分
9 ppm の環境下に 1分 → 1 ppb まで約60分
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寿命 |
一定のアプリケーションで6ヶ月以上 |