MutiDetek3 ガスクロシステムラック
LD Rack

LD Rack システムは、ガスクロマトグラフMultiDetek3、ガスストリームセレクターLDGSS、ガス希釈システムLDGDSA、ガス精製器LDP1000、ガス回収・精製システムLDRPS を組み合わせ、1 つのラックシステムに集約可能な洗練された測定プラットフォームです。各ユニットは、スライド式で簡単に取り外せるため定期的なメンテナンスが迅速かつ簡単に行えます。
内部配管は半導体製造グレード（超高純度アプリケーション用）のオービタル溶接仕様での制作も可能でリークインテグリティを保証します。


半導体施工グレードの内部配管
システム内の配管は、全てオービタル溶接仕様で制作することも可能です。
検出器内のバックプレッシャーシグナルの変動を除去する目的から個々のラインを他のベントから分離するために、低圧と高圧の個別ベントパイプが設置されています。
動作ガスはキャリアガスから分離され、バルブ作動時の圧力変化のリスクを回避します。