LD8000 MULTIGASは、ヘリウム中の微量窒素、酸素、水分、炭化水素のモニタリングに最適なオンラインガス分析器です。
コンパクト設計の4Uユニットは、オンライン測定用のヘリウムの極低温設備要件を満たします。
検出タイプ | プラズマ発光式 N2 – O2 – H2O – CnHm | |
N2レンジ | 0–10ppm, 分解能 ~100ppb | 0–100ppm, 分解能 ~1ppm |
O2レンジ | 0–3ppm, 分解能 ~100ppb | 0–30ppm, 分解能 ~0.1 ppm |
H2Oレンジ | 0–3ppm, 分解能 ~100ppb | 0–30ppm, 分解能 ~0.1 ppm |
CNHMレンジ | 0–3ppm, 分解能 ~100ppb | 0–30ppm, 分解能 ~0.1 ppm |
標準機能 |
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オプション |
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ガス接続 | サンプル:1/8in.コンプレッション継手 | 出口: 1/8in. コンプレッション継手 |
校正ガス | ゼロ:LDP1000精製ガス またはゼロガスシステム スパン1:8.0 ppm N2およびO2+3ppm ヘリウム中のCH4(アプリケーションに依存) |
スパン2:8.0ppm ヘリウム中のH2O ( アプリケーションに依存) |
推奨サンプル流量 |
N2チャンネル(PED#1):50sccm O2チャンネル(PED#2):20sccm H2Oチャンネル(PED#3):20sccm |
CnHmチャンネル(PED#4):20sccm チャンネルあたりのバイパス流量:100sccm |
窒素ドーピングガス流量の要件 | O2チャンネル(PED#2):20sccm H2Oチャンネル(PED#3):20sccm |
CnHmチャンネル(PED#4):20 sccm |
推奨最低作動圧力 | 4PSIG (28kPAG) ※オプション 1PSIG (7kPAG) | |
動作温度 | 10℃~ 45℃ | |
電源供給 | 115 VAC, 50 – 60 Hz または 220 VAC, 50 – 60 Hz | |
精度 | ± 1%FS より良い | |
ドリフト | < ±1%(24時間) | |
応答速度 | T90 < 60秒 | |
重量 | 20-27kg (オプションによる) |
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