水晶発振式水分(露点)測定の測定原理

「露点」（ろてん/dewpoint）とは、何でしょうか？
露点は、「湿度」の表し方の一つです。日常生活で触れることのない単語ではないでしょうか？

湿度とは、大気中の水分量（水蒸気量）を表したものです。
「湿度（水分）」は、気象変化、生活環境（空調）、食品といった日常生活範囲だけではなく、鋼鉄や石油化学、電力、紙パルプ、自動車、航空、文化財保護など様々な工業など諸産業にも影響を与えています。
産業に求められる品質が高くなるにつれ、正確な水分管理（測定）や微量水分域での測定が求められるようになりました。

特殊なコーティングを施した水晶振動子の振動周波数を利用して水分含有量を求めることから水晶発振式水分計を呼ばれます。

静電容量式露点計や鏡面冷却式露点計と水晶発振式水分計では、計測視点が異なるのがポイントです。　静電容量式露点計や鏡面冷却式露点計は露点を視ています、水晶発振式は水分量を視ている点が異なります。

特殊なコーティングを施すことで水晶振動子は水分を表面上に吸着させる性質を持ちます。　その水晶振動子は水分を吸着すると振動数が変わり、予め機器内部メモリに保存されたドライ状態の周波数と比較することで水分量を導き出します。　機器の性能は水晶振動子のコート材質に依存し、また同様に測定ガス温度やサンプル流量もコート材質によって微妙に変化するので注意が必要です。

水晶発振式水分計は高速応答が最大の特長です。流量と温度に大きく依存するため、アプリケーションによっては一定に維持するための外部コンポーネントの設置が必要です。

• 露点ではなく、水分量を視ている
• 特殊なコーティングを施すことで水晶振動子は水分を表面上に吸着させる性質をもつ
• 水分を吸湿した水晶振動子の周波数変化により水分量を測定している
• 流量と温度に大きく依存するため、一定に維持するための外部コンポーネントが必要

測定方式

水晶発振子（振動子）は、半導体より古くから利用されている技術です。

自動校正

高い信頼性を維持するために完全に独立された校正システムを搭載しています。センサー性能を確認するために定期的に校正が行えます。

応答速度

QCM技術により水晶発振子の表面に汚れが付着しにくくなり高速応答を実現
T63＜ステップ変化（両方向）を2分以内
T95＜ステップ変化（両方向）を５分以内

精度

水分含有量を直接測定するため、±10%RDG（0.1～500ppm_V）を実現

長期安定性

QCM技術は、一貫して安定した測定を可能にします。

ガス種

さまざまなガスアプリケーションおよびガス種に対応